post etch punch 蚀后冲孔
Post-etch Punch 讨第二种
post etch clean 去有机物
In this study sacrificial oxidation is used as a post-etch treatment to reduce surface roughness and etch damage.
利用牺牲氧化改善刻蚀后的表面形貌，进一步减小表面的刻蚀损伤。
youdao
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