在栅极和源漏极的pn结的扩散方面,采用多晶金属硅化物(Polycide)和金属硅化物(Silicide)来制备,以减小寄生电阻。金属硅化物一般使用硅化钨和硅化钛,但是现在已经被硅化钴所取代。
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... polyarthritis 多关节炎 polycide 多硅结构 polyclimax 多顶极[群落] ...
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polycide gate 多晶硅硅化物栅极 ; 多晶硅 ; 硅化物栅 ; 硅化物栅极
polycide n 多晶硅
polycide aboideau 多晶硅硅化物栅极
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A polycide layer is defined over the impurity doped polysilicon layer. The polycide layer and the polysilicon layer function as a word line.
多晶硅化金属层设置于杂质掺杂多晶硅层上,而多晶硅化金属层与多晶硅层可作为字线。
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