...(4a)；将由第一回收部(4a)回收的高折射率液体供给到后清洗单元(POCLN)作为清洗液使用的第一供给部(4b)；回收在后清洗单元(POCLN)使用的高折射率液体的第二回收部(4c)；将由第二回收部(4c)回收的高折射率液体供给到液浸曝光部(30)的第二供给部(4d)，使高折射率...
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