...馏半导体设备制造用于高真空应用的前级泵技术数据排量 50Hz 80 m3h-1/47.1 ft3min-1 60Hz 96 m3h-1/56.5 ft3min-1速度 (Pneurop) 50Hz 74 m3h-1/43.6 ft3min-1 60Hz 90 m3h-1/53 ft3min-1级数 2极限真空(总压力) 不带气镇 1 x 10-3 mbar/7.7 x 10-4 Torr 带...
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美国压缩空气和压缩气体协会(CAGI)欧州空气压缩机、真空泵和气动工具制造商委员会(PNEUROP) 气动设备噪声测定规程
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系统符合德国DIN标准及其欧洲测试标准(PNEUROP)相关规定。
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