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  永磁场直拉

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  利用装置环形永磁场的直拉炉

张维连老师的论文 用PMCZ法生长的单晶硅中氧和电阻率的均匀性 利用装置环形永磁场的直拉炉PMCZ)生长单晶硅和掺锗硅晶体 锗杂质对直拉单晶硅热施主和机械强度的影响 掺锗CZSi原生晶体中氧的微沉淀 锗对CZSi中氧沉淀成核和沉淀形...

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