... planar trajectory 平面弹道 planar cathode 平面阴极 planar method 平面法 ...
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planar cathode
平面阴极
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The planar magnetic control spluttering cathode mainly solves the technical problem of relatively low utilization ratio of the target of the prior planar cathode.
它主要是解决现有平面阴极的靶材利用率相对较低等技术问题。
youdao
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