光电接收二极管（PIN PHOTODIODES）： HPI-103，HPI-1K1，HPI-1K3，HPI-1KL5，HPI-201，HPI-23G，HPI-2C，HPI-2CR2，HPI-307，HPI-304R4L，HPI-5FCR2，HPI-6FER2，H...
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PIN Photodiodes for Communication 通信用PIN光二极体
Mechanism of dry etching damage and main causes for RIE induced - damage are investigated with RIE technique by utilizing PIN photodiodes.
采用rie法，利用PIN光电二极管，研究了干法腐蚀损伤机理及引起损伤的主要因素。
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