所有这些膜系都是在PIAD(等离子辅助沉积)和PARMS(等离子体辅助反应磁控溅射)的方式下完成的.实验的重复性和均匀性体现了直接监控的优势.
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因此，特别优选的技术是基于离子辅助沉积(IAD)、离子束溅射(IBS)、等离子体离子辅助沉积(PIAD)的技术，因为它们在接近室温时操作。
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