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In this passage,the steady photoetching technology of BP-212 positive photoresist is researched. BP-212 positive photoresist is used in patterning glass and anodic aluminum oxide (AAO) templates.
本文分别以玻璃片和AAO模板为基底,使用BP-212型紫外正性光刻胶,进行光刻工艺条件的研究,找到了在本实验条件下的稳定光刻工艺。
参考来源 - 紫外光刻法制备图案化的低维纳米结构陈列·2,447,543篇论文数据,部分数据来源于NoteExpress
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