(3) 光化学腐蚀法(Photochemical etching) 在激光器等光源的辅助作用下,浸泡在HF 水溶液或HF 乙醇溶液中的e-Si 可以与HF 反应,适当条件下可以得到发射可见光的样品。
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通常所指腐蚀也称光化学腐蚀（photochemical etching），指通过贴不干胶；曝光制版、显影后或丝印网版形成图像转移，将需腐蚀区域的保护油墨去除露出需要腐蚀的地方，在腐蚀时金属接触...
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resistless photochemical etching 无抗蚀膜光化学蚀刻
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