1．3-3微波．ECR等离子体源离子注入的主要特点 本实验采用等离子体增强物理气相沉积（PEPVD）的方法，利用大连理工大学 三束实验室自主研发的微波．ECR等离子体源离子注入／沉积设备，利用等离子体 增强非平衡磁控溅射方法，...
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