...亮度高、光斑小、准直性优异，通过光学系统的光束偏振性小、聚焦深度大、穿透本事强；同时可有效消除半暗影效应(Penumbra Effect)等优越性。X射线光刻技术发达的主要难题是系统体积强大，系统价格高贵和运转成本居高不劣等等。
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penumbra effect
模糊的效果
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