为了节流材料，目前制备多晶硅薄膜电池多采用化学气相淤积法，包孕低压化学气相淤积(LPDVD)和等离子增强化学气相淤积(PEDVD)工艺。这个之外，液相外延法(LPPE)和溅射淤积法也可用来制备多晶硅薄膜电池。
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