...等离子增强原子层沉积氮化镓的研究（1） 2016中国国际功能材料大会(CIFM 2016)——等离子体增强原子层沉积(PEALD)是一种低温制备高质量超薄薄膜的有效手段，近年来正受到工业界和学术界广泛的关注。
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研究者采用等离子体增强原子层沉积(PEALD)在小于100℃的条件下沉积了氧化铝薄膜，但是采用这种方法制备的阻挡层性能较差，WVTR较高并且封装所得到的OLED寿命不足。
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