进料品质检查的应用，基本上是模拟光罩厂所进行的检验程序，目的在对图案完整性(pattern integrity)进行品检。与IQC不同，重检的目的在于检测光罩经过一段时间后由污染物所造成的变化。
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pattern integrity
模式的完整性
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