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pamocvd

网络释义

  微波等离子体辅助金属有机物化学气相沉积

本论文采用电子回旋共振(ECR)微波等离子体辅助金属有机物化学气相沉积(PAMOCVD)方法。另外.

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短语

ECR-PAMOCVD 相沉积

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