微影的叠对是非常重要的, 上一层与下一层曝光成像图案层间有定位误差时,就会产生叠对误差(Overlay Error),将会导致元件短 或断 ,甚至影响到整个生产的 .
基于16个网页-相关网页
...公司 关键词:黄光微影制程;覆盖误差;卡曼滤波器 黄光微影制程在半导体制造的过程中,扮演很重要的角色,而覆盖误差(Overlay Error)为黄光微影制程控制中相当重要的项目,覆盖误差的量测结构,为Box-in-Box结构,¸¸¸
基于1个网页-相关网页
mask overlay error 掩模相互重合误差
Overlay file read error 读取覆盖文件时错误
overlay error
叠加误差
以上为机器翻译结果，长、整句建议使用 人工翻译 。
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动