... optical processor 光学处理器 optical proximity correction (OPC) 光学距离校正 optical receiver 光学接收器 ...
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...米微影;除非严格控管并加上解析度辅助技术,如相位移光罩(phase shift mask)、光学邻近效应修正(optical proximity correction)与偏轴照明(off-axis illumination)等技术。但无 论如何,要利用光学微影 技术达到次70奈米解析度 仍然是一大挑战。
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IBM认为,通过光学近似修正(Optical Proximity Correction,OPC)技术,硅基底和SOI模块均可采用248纳米步进机(Stepper),而不需使用较昂贵的193纳米微影...
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OPC Optical Proximity Correction 光学临近修正
Model-Based Optical Proximity Correction 基于模型的光学邻近校正技术
optical proximity effect correction 光学邻近效应修正
以上来源于: WordNet
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