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optical emission end point detector

网络释义

  激发光终点侦测器

激发光终点侦测器（Optical Emission End Point Detector） 用一光谱接受器，接受蚀刻反应中某一反应副产物（Byproduct）所激发之光谱，当蚀刻反应逐渐完成，此副产物减少，光谱也渐渐变弱...

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有道翻译

optical emission end point detector

光发射终点检测器

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