在这封信中,我们报告的Ga0.51In0.49P在Si外延生长的GaAs夹层低压有机金属化学气相沉积(OMCVD)的初步结果。的表面形貌和结晶质量的膜被发现是严重依赖于初始的GaAs缓冲层的生长参数。
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也有报道利 用其它专门的气相金属有机分子运用金属有机化学气相沉积法(OMCVD)来制备 氧化钨薄膜12…。
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