1.3.2 硅基纳米光机电系统(NOEMS)21-22
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节 硅基微纳光机电系统技术(MOEMS/NOEMS) 一、硅基微光机电系统(MOEMS ) 二、硅基纳米光机电系统(NOEMS ) 三、关键硅基光电子器件 第四节 集成光电子器件微纳加工工艺 第五节 硅基微纳光电子器件的应用及..
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微纳信息系统集成方向主要研究基于微电子和微/纳光机电系统（M/NOEMS）、先进封装与电路板等先进加工制造技术平台、以电磁场理论、信号与信息处理理论、微/纳米尺度下的多物理场理论为理论基础，研究相...
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