...般的金属來得多，所以对于超浅接面元件所使用的钴金属厚度就 必须减少，并且当钴在进行矽化反应时，其对自生氧化层(Native Oxide)的存在极为敏感，不过此问题已借由在矽化过程中覆盖一被覆 层的方法解决了。但消耗大量矽之问题则尚未找出一完善方法。
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...py(光谱放射) Mass Spectroscopy(质谱分析) 微粒(Particle) 有机物(Organic) 微粗糙(Micro-roughness) 自然氧化物(Native Oxide) 洗净程序(Sequence) 化学配方(Recipe) 离子纯水(DI water) 化学品(Chemicals) 气体(Gases) 洗濯槽(Rinse) 洗净功能(Recipe Capa...
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铜对铜的热压接合制程有两种：第一种使用铜与原生氧化物（Native Oxide）；第二种使用铜与有机钝化层（如BTA），此钝化层是在铜双镶嵌制程（Copper Dual Damascene Process）的Post-CMP清洗时沉积于金属...
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...氧化层(Gate Oxide)的厚度，已大幅下降，因此尚要考量洗净后，晶圆表面的微粗糙度(Micro-roughness)，及俱生氧化物(Native Oxide)之清除，以达到半导体组件(Device)超薄门极氧化层(Ultra-Thin Gate Oxide)的电性参数及特性(Electrical Parameters and Characte...
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native oxide layer 自然氧化膜 ; 自然氧化层
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