... Process Integration 工艺集成 Microelectro Mechanical Systems (MEMS) 微电子机械系统 Nano Fabrication Technologies 纳米加工技术 ...
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Thee current research fields of the center are micro and nano fabrication technologies, micro and nano materials, and micro and nano systems.
中心的研究方向，主要从事微纳米加工技术、微纳米材料以及微纳米器件与系统的研究与应用，并为国内外产业及研究机构服务。
Macro, micro and nano-scale technologies rely on scale-specific performance models, design methods and fabrication processes which may be used to engineer machines within a limited range of size.
巨观、微米和奈米尺度技术依赖于特定尺度的性能模型、设计方法和可用于有限范围大小的工程机械的制造过程。
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