以椭偏仪ellipsometer或是毫微仪（nano-spec）最为普遍及准确。前者能同时输出折射率refractivinx；用以评估薄膜品质之好坏及起始厚度b与跳阶厚度a总厚度tma+b。
基于14个网页-相关网页
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动