介绍了掺氧半绝缘多晶硅（O-SIPOS）及掺氮半绝缘多晶硅（N-SIPOS）薄膜的制备方法、生长条件及其在高可靠大功率开关三极管3DK106中的应用，以及主要电参数的测试结果，并 ..
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