2、结合已有的研究成果，对微波等离子体气相沉积(MWPCVD)法制备碳纳米管阵列工艺进行了进一步的探索，并对制备的碳纳米管样品的形貌及场发射性能进行了简单测试。
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...膜场发射性能的影响 樊志琴 闫书霞 姚宁 鲁占灵 杨仕娥 马丙现 张兵临 【摘要】：利用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法,在不锈钢衬底上直接沉积碳纳米管膜。通过SEM、拉曼光谱和XRD表征,讨论了制备温度和甲烷浓度对碳纳米管膜场发射的影响。
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微波等离子体
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参考来源 - 微波等离子体低温CVD金刚石膜工艺和机理研究
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