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mwecr

网络释义

  微波电子回旋共振(Microwave Electron Cyclotron Resonance)

本课题采用微波电子回旋共振(MWECR)等离子体装置,以六甲基二硅氧烷(HMDSO)为单体,氩气为载体,氧气为反应气体,在PET基材上进行了氧化硅薄膜的沉积研究。

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短语

MWECR-CVD 微波电子回旋共振等离子体CVD ; 微波电子回旋共振化学气相沉积

HW-MWECR-CVD 微波电子回旋共振化学气相沉积

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- 来自原声例句
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