本课题采用微波电子回旋共振(MWECR)等离子体装置,以六甲基二硅氧烷(HMDSO)为单体,氩气为载体,氧气为反应气体,在PET基材上进行了氧化硅薄膜的沉积研究。
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MWECR-CVD 微波电子回旋共振等离子体CVD ; 微波电子回旋共振化学气相沉积
HW-MWECR-CVD 微波电子回旋共振化学气相沉积
In order to simplify the MWECR CVD system using multiple electromagnetic coils, the new magnetic fields generated by assembling a electromagnetic coils and a permanent magnet unit are presented.
为了简化多电磁线圈m WECR - CVD装置，提出将单个电磁线圈和一个永磁体单元组合，以形成所需的新型磁场。
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