...-O三金属合金氧化物催化剂的基础上,分别利用普通化学气相沉积(CVD)、热丝化学气相沉积(HFCVD)和微波等离子体化学气相沉积(MWCVD)三种方式制备出碳纳米管。
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(2)物理化学气相沉积法用物理化学方法促进CVD过程，例如等离子增强CVD(PECVD或PACVD)、微波等离子体CVD(MWCVD)、射频等离子体CVD(RFPECVD)和直流等离子体CVD(DCPECVD)及电子增强CVD(EACVD)等。
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掺杂硼的金刚石薄膜生长通过微波等离子体化学气相的沉积（MWCVD）和热丝CVD（HFCVD）中的内部应力和应变作为硼浓度的函数进行了研究。总应力（热+本征的）拉伸，并与硼浓度的增加的应力和应变。
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