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摘 要： 对由光电阴极、微通道板、网电极及斜切电光晶体LiNbO3组成的新型全近贴式微通道板空间光调制器（MSLM）进行了系统地研究。详述了该器件的设计考虑及关键工艺过程。
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MSLM Microchannel Spatial Light Modulator 微信道空间光调制器
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