微波等离子体增强化学气相沉积系统(MPECVD)的质量保证。
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主要大型仪器设备有：金属有机化合物气相沉积（MOCVD）系统、微波等离子体增强化学气相沉积（MPECVD）系统、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统、磁控溅射系统、反应离子刻蚀机、光刻机、高精度丝网印刷机、大型高精度点胶机、高...
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