金属有机物化学气相沉积法（MOVCD）是利用运载气携带金属 有机物的蒸气进入反应室，受热分解后沉积到加热的衬底上形成薄膜。
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...，例如利用溶胶—凝胶技术制备的纳米晶多孔SnO2薄膜，利用激光蒸发技术制备的纳米晶SnO2薄膜，使用金属有机化学气相沉积法(MOVCD)并以四乙基锡作为有机金属源制备的SnO2薄膜，采用等离子激活化学气相沉积法制备的非晶SnO2膜，采用脉冲激光溅射法并分别以SnO2和...
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