其抽气系统 为一涡輪分子帮浦(molecular turbine pump) 串聯一机械式帮浦(mechanical pump)。机械式帮浦(mechanical pump)为一粗抽式装置，其原理为借由連续的进 气、压缩及排气的重复...
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molecular turbine pump
分子涡轮泵
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