i 当今,内置有用于光束扫描和聚焦控制MOEM(微光机电)器件的仪器,在多数情况下其光学性能已达到常规光学显微元件组装的同类仪器水平。
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将微光学、微电子、微机械结合起来，就可产生一类更新、应用领域更广的器件—— 微型光电机械系统 （ MOEM ），可能带动另一类商用设备如振镜、激光扫描器、光电快门和动态微镜显示仪等工业化进程。
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