10-8Pa）； 工作真空度：10-8~10-9mbar（10-6~10-7 Pa） 能谱仪（EDS） 生产厂商：英国牛津 分辨率（MnKa）：～133eV 探测元素范围：B5～U92 分辨率： 在Mn Kα处，优于136eV2.1nm 场发射扫描电子显微镜（FESEM）是电子显..
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