建议使用：1024x768分辨率，16位以上颜色磁性MEMS 传感器 应用 磁性微电子机械系统（MMEMS）的应用...
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In this article, we will present an overview of key issues of the MMEMS technology, such as coil fabrication, soft magnetic films and hard magnetic films fabrication.
本文就磁性MEMS技术中的线圈制作、软磁膜制备及硬磁膜制备等关键性问题加以概述。
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