针对微机电系统设计所面临的问题,将多学科设计优化方法引入微机电系统设计中,基于微机电系统多学科设计优化系统(MMDOS)平台,主要研究了其中的多学科层级设计优化方法,建立了多学科层级设计优化方法的框架,提出了层级优化过程中子系统建模和系统级...
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