起首经由过程薄膜变形镜(MMDM)和压电变形镜(PDM)这两种经常使用的变形镜的比较试验，剖析分歧品种的变形镜在现实处置像差时的有用性和靠得住性。
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关 闭自适应光学 变形镜 静电驱动 微机械可变形反射镜(MMDM) 微电子机械系统(MEMS)...
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A microminiature adaptive optics system with a 37-channel micromachined membrane deformable mirror (MMDM) were built, which features low cost, low power consumption, small size.
建立了由微机械薄膜变形镜(MMDM)构成的微小型自适应光学系统，该系统具有低成本、低能耗、体积小的特点。
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