在改良的固相晶化技术中,金属诱导固相晶化(MISPC)技术最具有发展前途。所谓的 金属诱导固相晶化技术就是在制备非晶硅薄膜之前、之后或同时,沉积一层金属薄膜(如 Al、Ni、Pd),...
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