...案将以1:1的大小转印到光阻上,此方法精度较所常用的步进机(stepper,能输出一定频率和波长的光线)或镜像投影(Mirror Projection)来得差,但其优点为产量(throughput)大,设备便宜。
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mirror projection aligner 镜面投影对准曝光器
mirror lens projection aligner 镜面透镜对准曝光器
tilt up the projection mirror 倾斜的投影镜 ; 投影镜像向上倾斜 ; 倾斜的投影镜像
projection drawing mirror 投影描绘反射镜
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