...能确保规定的洁净度要求，采用局部洁净室(区)将每台生产工艺设备及相关的传送装置和加工区封闭，即“微环境”( Minienvironment)的方式是当前流行的进行严格控制污染的形式。
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minienvironment technology 微环境技术
depurative minienvironment 洁净微环境
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