文章摘要信息 关键词 ： 微系统 微光学 微传感器 微执行器 专用集成微型仪器 [gap=714]Keywords : Microsystems Microoptics Microsensors Microactuators ASIM
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Mechanical Microsensors 硅微机械传感器
Oxygen Microsensors 微量氧气测量仪
thermoelectric microsensors 热电型微传感器
surface acoustic wave microsensors 声表面波微传感器
The mechanics and electrics characteristics of a type of capacitive microsensors are introduced here.
本文主要对电容式测压微传感器的力学特性和电学特性进行分析。
When we started working on microsensors at Xerox PARC, I was passionate about the work, but it wasn’t something the whole world realized was important.
当我们开始在Xerox PARC上研究微型传感器时，我对这项工作充满激情，然而彼时它并不被全世界都认为是重要的事。
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