技术介绍一般地，微机电系统(microelectromechanicalsystems，缩写为MEMS，美国惯用词)或微机械(Micromachine，日本惯用词)或微系统技术(MicrosystemsTechnology，欧洲惯用词)是一个新兴的、多学科交叉的高科技领域，它涉及电子、机械、材料、...
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Micromachine Center 日本微机械中心
Exhibition Micromachine 日本的微机电展览
micromachine differential-protection 微机差动保护
surface micromachine 表面微机械
Bulk Micromachine 体硅微机械
Micromachine motor 微机械马达
micromachine technique 微机械技术
silicon micromachine 硅微机械
Microgripper technique was one of important parts in micromachine techniques.
微夹钳技术是微机械技术的重要内容之一。
A new type of zine oxide (ZnO) thin film devices can be realized utilizing piezoelectric and surface micromachine technology.
利用压电薄膜和表面微机械技术可实现新型的氧化锌簿膜器件。
Some new techniques are adopted, for example, technology of dual-face alignmental silicon etching and anisotropic corrosion (micromachine), etc.
采用双面对准光刻工艺，各向异性腐蚀微机械加工制硅膜片等新技术。
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