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microfabrication technology

  • 微细加工

网络释义专业释义

  微细加工技术

...),Chen Di(陈迪),Ding Guipu(丁桂甫),Zhao Xiaolin(赵小林),Yang Chunsheng(杨春生).Microfabrication Technology(微细加工技术),2002,(2):28~32

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  • 微细加工 - 引用次数：5

    Some new technologies of micro-mechanism manufacture are discussed, such as microfabrication technology for surface/bulk, LIGA and silicon direct bonding technologies and so on. Besides, the application foreground in MEMS products using these new technologies is also expounded.

    论述了微电子机械制造中的主要技术,包括表面微细加工、体微细加工、光刻-电铸-注塑(LIGA)、硅直接键合技术等,并讨论了这些新技术在MEMS产品中的应用前景。

    参考来源 - 微/纳米级微电子机械系统制造新技术
  • 微加工技术 - 引用次数：3

    参考来源 - 重金属电化学传感器及其在海水检测中应用的研究

·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress

双语例句

  • Some polymer materials are used as substrate. Kinds of new microfabrication technology are presented, including lithography, soft etching, LIGA, DEM and bonding, etc.

    系统介绍了芯片实验室的各种制备技术，这些技术包括紫外光刻、软刻蚀、LIGA技术、DEM技术、键合等。

    youdao

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- 来自原声例句
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