这些微型快门实际上是微电机系统装置(microelectromechanical system，MEMS)，其作用类似于照相机的快门，是用于控制曝光量的。
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integrated microelectromechanical system 采用微电子机械集成技术
radio frequency microelectromechanical system devices 射频微机电器件
Microelectromechanical system is a promising technology with many applications.
微电子机械系统是一项有广泛应用前景的实用技术。
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