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microcantilevers

  • 微悬臂梁

专业释义

  • 微悬臂梁 - 引用次数：2

    The two different microcantilevers with the PZT or PT/PZT/PT piezoelectric thin film are fabricated with bulk silicon technique of dry etching and wet etching and their elastic coefficients and sensitivities are measured.

    通过干法刻蚀和湿法腐蚀相结合的体硅工艺，制作了两种不同尺寸的PZT或PT／PZT／PT压电薄膜微悬臂梁结构，并测试了它们的弹性系数与灵敏度。

    参考来源 - PT/PZT/PT薄膜微力传感器的研究

·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress

双语例句

  • The IR detector contains a focus plane array (FPA) which is fabricated into an array of bi-material microcantilevers in the form of single-layer membranous structure without Si-base.

    此红外探测仪的核心器件焦平面阵列（FPA）由无硅基底结构的微悬臂梁阵列构成。

    youdao

更多双语例句
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- 来自原声例句
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