• 微梁结构 - 引用次数：4

  In this paper, Design and fabrication of a new chip of microbridge structure thermocouple type microwave power sensor developed by using MEMS technology were recommended.

  微波功率传感器是微波功率计探头中的核心元件，在该领域国内外已有大量的研究，但利用MEMS技术研制的微结构微波功率传感器至今还很少，本文主要介绍了一种用MEMS技术研制的微梁结构热偶微波功率传感器芯片的设计和制作工艺。

  参考来源 - 微梁结构热偶微波功率传感器芯片的设计与制作

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