... micro微 microaccelerometer微加速计 microaerotonometer微量气体张力计 ...
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multi-finger microaccelerometer 梳齿式加速度计
microaccelerometer basic theory 微加速度传感器基本原理
thermally driven resonant microaccelerometer 电热驱动谐振式微加速度传感器
Progress in multi-axis microaccelerometer 多轴微加速度传感器的进展
This paper introduces a multi-finger microaccelerometer based on MEMS technology, and describes the characteristic of the sensor microstructure and the system operation principle.
讨论了一种梳齿式微机械加速度计，介绍了表头微机构的特点和系统工作原理。
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