micro feed table 微进给平台
micro-feed table 微进给平台
micro-drive table 微动工作台
micro-dumping table 微倾工作台
micro stepping table 微步进工作台
micro displacement table 微动工作台
6-DOF micro table is an important part of nanometer three coordinate measuring machine (COMERO). It is used to realize precision orientation and hardware correction of spacial compositive error of workpiece.
六自由度微动工作台为纳米三坐标测量机的重要部件，用于实现工件的精密定位和空间综合误差的硬件修正，要求能实现六自由度的运动且具有纳米级的运动定位精度。
参考来源 - 纳米六自由度微动工作台机械设计·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
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