【Key words】 Micro-motion worktable； Piezoelectric ceramic actuators； Hysteresis nonlinearity； Hysteresis nonlinearity model； self-sensing； compound control；
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micro-motion worktable 微动工作台
the micro-motion worktable of 6-DOF 六自由度微动台
micro motion worktable
微动工作台
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The micro-motion worktable is the important part in micro-mechanical systems and the key component to achieve high-precision positioning.
微动工作台是微机械系统的重要组成部分，是实现高精度定位的关键部件。
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