一种以多晶硅为振动膜的MEMS传声器研制_电子资料文库 关键词:微气体传感器;稳定性;SnO ;特征参数 [gap=755]Key words:micro gas sensor;stability;SnO2;feature parameter
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micro gas sensor array 微气体传感器阵列
micro-gas sensor array 微气体传感器阵列
gas micro sensor array 气体传感器阵列
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The application of finite element method (FEM) in the design of a membrane-type micro gas sensor is reported.
本文报道有限元方法在膜片型微结构气敏传感器设计中的应用。
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